МАТЕМАТИКА И МЕХАНИКА
ФИЗИКА И АСТРОНОМИЯ
НАУКИ О ЗЕМЛЕ
ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ СТРОИТЕЛЬСТВА
ИНФОРМАТИКА И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ
ФОТОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, ОПТИЧЕСКИЕ И БИОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРО- И ТЕПЛОЭНЕРГЕТИКА
ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА И ТЕХНОЛОГИИ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ И ТЕХНОЛОГИИ
ОРУЖИЕ И СИСТЕМЫ ВООРУЖЕНИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
ПРОМЫШЛЕННАЯ ЭКОЛОГИЯ И БИОТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОСФЕРНАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРИРОДООБУСТРОЙСТВО
ПРИКЛАДНАЯ ГЕОЛОГИЯ, ГОРНОЕ ДЕЛО, НЕФТЕГАЗОВОЕ ДЕЛО И ГЕОДЕЗИЯ
ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ
ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ НАЗЕМНОГО ТРАНСПОРТА
АВИАЦИОННАЯ И РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА
УПРАВЛЕНИЕ В ТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ
НАНОТЕХНОЛОГИИ И МАТЕРИАЛЫ
ТЕХНОЛОГИИ ЛЕГКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
НАУКИ О ЗДОРОВЬЕ И ПРОФИЛАКТИЧЕСКАЯ МЕДИЦИНА
ПСИХОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
ЭКОНОМИКА И УПРАВЛЕНИЕ
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ОБРАЗОВАНИЕ И ПЕДАГОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
ИСТОРИЯ И АРХЕОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ, ЭТИКА И РЕЛИГИОВЕДЕНИЕ
КУЛЬТУРОВЕДЕНИЕ И СОЦИОКУЛЬТУРНЫЕ ПРОЕКТЫ
МАТЕМАТИКА И МЕХАНИКА
ФИЗИКА И АСТРОНОМИЯ
НАУКИ О ЗЕМЛЕ
ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ СТРОИТЕЛЬСТВА
ИНФОРМАТИКА И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ
ФОТОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, ОПТИЧЕСКИЕ И БИОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ
ЭЛЕКТРО- И ТЕПЛОЭНЕРГЕТИКА
ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА И ТЕХНОЛОГИИ
МАШИНОСТРОЕНИЕ
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ И ТЕХНОЛОГИИ
ОРУЖИЕ И СИСТЕМЫ ВООРУЖЕНИЯ
ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
ПРОМЫШЛЕННАЯ ЭКОЛОГИЯ И БИОТЕХНОЛОГИИ
ТЕХНОСФЕРНАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРИРОДООБУСТРОЙСТВО
ПРИКЛАДНАЯ ГЕОЛОГИЯ, ГОРНОЕ ДЕЛО, НЕФТЕГАЗОВОЕ ДЕЛО И ГЕОДЕЗИЯ
ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ
ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ НАЗЕМНОГО ТРАНСПОРТА
АВИАЦИОННАЯ И РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА
УПРАВЛЕНИЕ В ТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ
НАНОТЕХНОЛОГИИ И МАТЕРИАЛЫ
ТЕХНОЛОГИИ ЛЕГКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
НАУКИ О ЗДОРОВЬЕ И ПРОФИЛАКТИЧЕСКАЯ МЕДИЦИНА
ПСИХОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
ЭКОНОМИКА И УПРАВЛЕНИЕ
ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
ОБРАЗОВАНИЕ И ПЕДАГОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
ИСТОРИЯ И АРХЕОЛОГИЯ
ФИЛОСОФИЯ, ЭТИКА И РЕЛИГИОВЕДЕНИЕ
КУЛЬТУРОВЕДЕНИЕ И СОЦИОКУЛЬТУРНЫЕ ПРОЕКТЫ
Современные технологии производства интегральных схем

Описание
В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных 3D-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и 3D-технологий, технологии производства микросхем из графена.
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Информатика и вычислительная техника», «Автоматизация технологических процессов и производств», может быть полезно для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».