01

МАТЕМАТИКА И МЕХАНИКА

03

ФИЗИКА И АСТРОНОМИЯ

05

НАУКИ О ЗЕМЛЕ

08

ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ СТРОИТЕЛЬСТВА

09

ИНФОРМАТИКА И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА

10

ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ

12

ФОТОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, ОПТИЧЕСКИЕ И БИОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ

13

ЭЛЕКТРО- И ТЕПЛОЭНЕРГЕТИКА

14

ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА И ТЕХНОЛОГИИ

15

МАШИНОСТРОЕНИЕ

16

ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ И ТЕХНОЛОГИИ

17

ОРУЖИЕ И СИСТЕМЫ ВООРУЖЕНИЯ

18

ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

19

ПРОМЫШЛЕННАЯ ЭКОЛОГИЯ И БИОТЕХНОЛОГИИ

20

ТЕХНОСФЕРНАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРИРОДООБУСТРОЙСТВО

21

ПРИКЛАДНАЯ ГЕОЛОГИЯ, ГОРНОЕ ДЕЛО, НЕФТЕГАЗОВОЕ ДЕЛО И ГЕОДЕЗИЯ

22

ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ

23

ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ НАЗЕМНОГО ТРАНСПОРТА

24

АВИАЦИОННАЯ И РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА

27

УПРАВЛЕНИЕ В ТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ

28

НАНОТЕХНОЛОГИИ И МАТЕРИАЛЫ

29

ТЕХНОЛОГИИ ЛЕГКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

32

НАУКИ О ЗДОРОВЬЕ И ПРОФИЛАКТИЧЕСКАЯ МЕДИЦИНА

37

ПСИХОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ

38

ЭКОНОМИКА И УПРАВЛЕНИЕ

40

ЮРИСПРУДЕНЦИЯ

44

ОБРАЗОВАНИЕ И ПЕДАГОГИЧЕСКИЕ НАУКИ

46

ИСТОРИЯ И АРХЕОЛОГИЯ

47

ФИЛОСОФИЯ, ЭТИКА И РЕЛИГИОВЕДЕНИЕ

51

КУЛЬТУРОВЕДЕНИЕ И СОЦИОКУЛЬТУРНЫЕ ПРОЕКТЫ

01

МАТЕМАТИКА И МЕХАНИКА

03

ФИЗИКА И АСТРОНОМИЯ

05

НАУКИ О ЗЕМЛЕ

08

ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ СТРОИТЕЛЬСТВА

09

ИНФОРМАТИКА И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА

10

ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ

12

ФОТОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, ОПТИЧЕСКИЕ И БИОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ

13

ЭЛЕКТРО- И ТЕПЛОЭНЕРГЕТИКА

14

ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА И ТЕХНОЛОГИИ

15

МАШИНОСТРОЕНИЕ

16

ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ И ТЕХНОЛОГИИ

17

ОРУЖИЕ И СИСТЕМЫ ВООРУЖЕНИЯ

18

ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

19

ПРОМЫШЛЕННАЯ ЭКОЛОГИЯ И БИОТЕХНОЛОГИИ

20

ТЕХНОСФЕРНАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРИРОДООБУСТРОЙСТВО

21

ПРИКЛАДНАЯ ГЕОЛОГИЯ, ГОРНОЕ ДЕЛО, НЕФТЕГАЗОВОЕ ДЕЛО И ГЕОДЕЗИЯ

22

ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ

23

ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ НАЗЕМНОГО ТРАНСПОРТА

24

АВИАЦИОННАЯ И РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА

27

УПРАВЛЕНИЕ В ТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ

28

НАНОТЕХНОЛОГИИ И МАТЕРИАЛЫ

29

ТЕХНОЛОГИИ ЛЕГКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

32

НАУКИ О ЗДОРОВЬЕ И ПРОФИЛАКТИЧЕСКАЯ МЕДИЦИНА

37

ПСИХОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ

38

ЭКОНОМИКА И УПРАВЛЕНИЕ

40

ЮРИСПРУДЕНЦИЯ

44

ОБРАЗОВАНИЕ И ПЕДАГОГИЧЕСКИЕ НАУКИ

46

ИСТОРИЯ И АРХЕОЛОГИЯ

47

ФИЛОСОФИЯ, ЭТИКА И РЕЛИГИОВЕДЕНИЕ

51

КУЛЬТУРОВЕДЕНИЕ И СОЦИОКУЛЬТУРНЫЕ ПРОЕКТЫ

Современные технологии производства интегральных схем

Вид издания Учебное пособие
Авторы Ланина Э. П.
Издательство ТНТ
Год издания 2022
ISBN 978-5-94178-646-6
Страниц 312
Образование Бакалавриат
УДК 621.38
ББК 32.81

Описание

В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных 3D-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и 3D-технологий, технологии производства микросхем из графена.

Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Информатика и вычислительная техника», «Автоматизация технологических процессов и производств», может быть полезно для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».