• 01 - МАТЕМАТИКА И МЕХАНИКА
  • 03 - ФИЗИКА И АСТРОНОМИЯ
  • 05 - НАУКИ О ЗЕМЛЕ
  • 08 - ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ СТРОИТЕЛЬСТВА
  • 09 - ИНФОРМАТИКА И ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА
  • 10 - ИНФОРМАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ
  • 12 - ФОТОНИКА, ПРИБОРОСТРОЕНИЕ, ОПТИЧЕСКИЕ И БИОТЕХНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И ТЕХНОЛОГИИ
  • 13 - ЭЛЕКТРО- И ТЕПЛОЭНЕРГЕТИКА
  • 14 - ЯДЕРНАЯ ЭНЕРГЕТИКА И ТЕХНОЛОГИИ
  • 15 - МАШИНОСТРОЕНИЕ
  • 16 - ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ И ТЕХНОЛОГИИ
  • 17 - ОРУЖИЕ И СИСТЕМЫ ВООРУЖЕНИЯ
  • 18 - ХИМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
  • 19 - ПРОМЫШЛЕННАЯ ЭКОЛОГИЯ И БИОТЕХНОЛОГИИ
  • 20 - ТЕХНОСФЕРНАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРИРОДООБУСТРОЙСТВО
  • 21 - ПРИКЛАДНАЯ ГЕОЛОГИЯ, ГОРНОЕ ДЕЛО, НЕФТЕГАЗОВОЕ ДЕЛО И ГЕОДЕЗИЯ
  • 22 - ТЕХНОЛОГИИ МАТЕРИАЛОВ
  • 23 - ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ НАЗЕМНОГО ТРАНСПОРТА
  • 24 - АВИАЦИОННАЯ И РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКАЯ ТЕХНИКА
  • 27 - УПРАВЛЕНИЕ В ТЕХНИЧЕСКИХ СИСТЕМАХ
  • 28 - НАНОТЕХНОЛОГИИ И МАТЕРИАЛЫ
  • 29 - ТЕХНОЛОГИИ ЛЕГКОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
  • 32 - НАУКИ О ЗДОРОВЬЕ И ПРОФИЛАКТИЧЕСКАЯ МЕДИЦИНА
  • 37 - ПСИХОЛОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
  • 38 - ЭКОНОМИКА И УПРАВЛЕНИЕ
  • 40 - ЮРИСПРУДЕНЦИЯ
  • 44 - ОБРАЗОВАНИЕ И ПЕДАГОГИЧЕСКИЕ НАУКИ
  • 46 - ИСТОРИЯ И АРХЕОЛОГИЯ
  • 47 - ФИЛОСОФИЯ, ЭТИКА И РЕЛИГИОВЕДЕНИЕ
  • 51 - КУЛЬТУРОВЕДЕНИЕ И СОЦИОКУЛЬТУРНЫЕ ПРОЕКТЫ
  • Современные технологии производства интегральных схем

    Вид издания Учебное пособие
    Авторы Ланина Э. П.
    Издательство ТНТ
    Год издания 2022
    ISBN 978-5-94178-646-6
    Страниц 312
    Образование Бакалавриат
    УДК 621.38
    ББК 32.81


    Описание

    В издании рассматриваются основы полупроводниковой электроники, принципы действия и особенности современных полупроводниковых приборов, используемых при построении микросхем вычислительной техники — от первых биполярных транзисторов до современных многозатворных 3D-транзисторов, перспективы дальнейшего развития элементной базы. Рассматриваются основные технологические процессы производства современных интегральных схем — от планарной технологии до методов прямой печати тонкоплёночных транзисторов и 3D-технологий, технологии производства микросхем из графена.

    Учебное пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Информатика и вычислительная техника», «Автоматизация технологических процессов и производств», может быть полезно для студентов, обучающихся по направлению подготовки «Конструирование и технология электронных средств».